国内半导体装备领域的领军企业北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）高层团队到访北京和利时自动化驱动技术有限公司（以下简称“和利时”），双方就半导体装备的智能化、数字化发展路径进行了深入交流与探讨。此次会晤，标志着两家在各自领域拥有深厚技术积累的企业，正携手探索高端制造与工业软件深度融合的新篇章。

在全球半导体产业竞争日益激烈、技术迭代加速的背景下，装备的智能化与软件的自主可控已成为提升产业链竞争力的关键。北方华创作为中国主要的半导体工艺装备企业，其产品线覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗等多个关键环节，对装备的精密控制、稳定运行以及工艺数据的深度挖掘有着极高的要求。而和利时作为中国领先的自动化与数字化解决方案提供商，在工业控制系统、工业软件、智能制造平台等方面拥有核心技术。双方的合作，旨在将和利时在工业自动化、信息化领域的软件优势，与北方华创在半导体专用设备领域的硬件及工艺知识深度融合。

会谈中，双方重点探讨了如何通过先进的工业软件赋能半导体装备。这包括但不限于：利用大数据和人工智能技术对装备运行状态进行预测性维护，减少非计划停机时间；开发更智能、更柔性的工艺控制软件，以适应先进制程对工艺窗口日益严苛的要求；构建从设备到工厂级的数字化孪生系统，实现工艺仿真、优化和虚拟调试，加速新产品导入和产能爬升；以及加强装备数据的采集、分析与应用，挖掘数据价值，持续提升工艺良率和设备综合效率（OEE）。

北方华创高层表示，半导体装备的复杂性决定了其不仅是精密机械的集合，更是软件定义的系统。装备的智能化水平，直接关系到下游芯片制造的效率、成本与质量。与和利时这样在工业软件和控制系统领域有深厚积淀的伙伴合作，是北方华创推进产品智能化升级、增强市场竞争力战略的重要一环。

和利时方面则强调，半导体产业是国家战略性产业，为其提供高可靠、高性能的工业软件与自动化解决方案，是和利时的责任与机遇。公司将依托自身在工业互联网、边缘计算、数字孪生等领域的技术，为北方华创量身打造更开放、更智能、更安全的软件平台，共同攻克半导体装备智能化中的软件难题，助力国产半导体装备迈向更高水平。

此次高层互动，不仅是一次技术交流，更是一次重要的战略对接。双方约定将建立更紧密的沟通与合作机制，组建联合技术团队，围绕具体项目开展联合研发与试点应用。通过“硬件+软件”的协同创新，共同探索一条符合中国半导体产业发展实际的装备智能化新路径，为保障中国半导体产业链的自主安全与持续发展贡献合力。

业内人士认为，此类跨界合作预示着中国半导体装备产业正从单点突破向系统化、生态化发展迈进。核心装备企业与核心软件企业的强强联合，有望加速打破国外在高端装备控制系统及工业软件方面的垄断，构建起更加完整、健壮的国产半导体产业生态体系。